API激光干涉仪在双轴同步测量中的应用

近些年来，在常用传统的机械结构中，龙门结构越来越多的被使用，比如手机显示玻璃雕铣机切割，手机外壳高光机，半导体自动化，卧式加工中心等方面。

随着龙门结构越来越丰富，有一些特殊要求的龙门结构也不断的涌现，比如双X轴，双Y轴，以及多Z轴等变异结构同时出现。

从结构上分析这些变异结构并不复杂，但是对加工和检测的要求却越来越高，如何能保持双轴同步的性能也是一个不小的难题。龙门结构越复杂跨度越大，同步性问题越明显，一直以来，这种结构的同步性存在三个难题：难检测，难发现，难处理！传统的直尺方尺，只能测量小龙门的高低以及左右方向的同驱问题，一旦龙门结构变大，或者结构变复杂就几乎无法测量，即使测量出来发现了同驱问题也束手无策！

随着科技的发展，这一难题被我们API公司（美国自动精密工程以下简称API）生产发明的激光干涉仪彻底地解决了。

在此案例中需要测量提高A轴B轴的同步性能，同步性参数主要包括（A/B轴的线性定位精度同步，A/B轴高度方向的直线度同步，A/B轴垂直结构的同步性，A/B轴平台的俯仰角度同步，A/B轴平台偏摆角度同步，A/B轴滚动角同步性）前三个参数是同步性能中最重要的三个参数。测量这些参数如果用传统方法，最多只能做到直线度同步检测，其他的都无法做到，我们API公司只需要借助本公司生产的激光干涉仪即可做到A/B轴的同步性测量，XD-3D只能实现前三个参数的同步性测量，如果选择XD-6D则可以完成六组主要同步性参数的测量。而且我们API最大的优势就在于一次安装，可同时完成以上所有同步参数的测量，是目前激光测量设备中唯一可以做到的检测仪器。

激光干涉仪在线性方面的测量，已经被广泛使用了数十年，这一点大家都非常了解，同样在测量双驱轴的同步性能方面，使用本公司生产的激光干涉仪亦能轻松完成，如上图所示只需要把干涉仪主机放置M点或者N点，反射镜放在相对应的位置上，两点对光好之后，调取后台实时监控数据，设置好参数比如每秒记录一个干涉镜与反射镜的距离，当然测量的间隔时间可以按照需要调整，然后A/B轴同时启动，按一定合理的速度往同一个方向移动，直到测量全行程后停止，此时软件里面会有与相应的时间点对应的位置记录，用软件编辑之后就可以给出同步性能曲线图。

图为使用APIXD-3D采集的40个点（图中每秒收集一次记录）的同步情况！如果用XD-6D测量，即可得到6个参数的同步数据，满足客户对于同步性能的测试需求！测试完之后再利用激光干涉仪的实时数据补偿技术，可显著提升设备的同步性能！

欲了解更多信息，请登录API公司官网(暂不可见)或致电API公司驻中国代表处010-59796858进行咨询及洽谈。

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（API）

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