威申：坐标测量机的21 项几何误差
坐标测量机的几何参数误差按其在各运动自由度方向作用分类，分为三项位置度、六项直线度、九项角摆误差、以及三轴相互之间的三项垂直度，共二十一项参数误差。
二十一项误差是测量机的基本几何误差，为了保证测量机满足示值误差及探测误差的要求，生产厂家都要测量和控制这二十一项误差，必要时进行补偿。
二十一项误差的测量可以使用不同的测量仪器进行检测以便于修正，包括双频激光干涉仪、电子水平仪、直角尺、高精度电感测微仪，但是，需要注意的是，使用上述仪器测量参数误差时，测量结果可能是几种参数误差的综合结果。这二十一项中有:
X、Y、Z 三个方向的位置度；
沿X、Y、Z 三个方向运动时的六个直线度；
沿X、Y、Z 三方向运动时自转、俯仰、方向九个角摆；
X、Y、Z 各轴间三个垂直度；
下图为21项误差由来的显示图：
针对X轴：（6项）
X方向对X轴的自转，X方向对Y轴的角摆，X方向对Z轴的角摆，X方向对Y轴的直线度，X方向对Z轴的直线度，X方向的位置度；
针对Y轴：（6项）
Y方向对Y轴的自转，Y方向对X轴的角摆，Y方向对Z轴的角摆，Y方向对X轴的直线度，Y方向对Z轴的直线度，Y方向的位置度；
针对Z轴：（6项）
Z方向对Z轴的自转，Z方向对X轴的角摆，Z方向对Y轴的角摆，Z方向对Y轴的直线度，Z方向对X轴的直线度，Z方向的位置度；
垂直度：（3项）
XY面垂直度，YZ面垂直度，ZX面垂直度；
针对21项误差，企业可以使用激光干涉仪进行误差补偿：
VGS威申在实际运用中，对21项误差中的3项位置度，3项垂直度做了补偿。
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