ULTRA系列测量机
ULTRA系列性能包括：
“亚微米级”精度
花岗岩工作台,全气浮防震基座
加强型单晶陶瓷横梁和主轴
三轴自适应微隙气浮导轨
全功能模块化集成数控系统
测量范围1000×700×600mm-25000×1000×800mm
空间精度：0.7μm+L/600
高精度扫描：1.5μm
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