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ULTRA系列测量机

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 ULTRA系列性能包括：

  “亚微米级”精度
  花岗岩工作台,全气浮防震基座
  加强型单晶陶瓷横梁和主轴
  三轴自适应微隙气浮导轨
  全功能模块化集成数控系统
  测量范围1000×700×600mm-25000×1000×800mm
  空间精度：0.7μm+L/600
  高精度扫描：1.5μm



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