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敞开式光栅尺

 
 

标准的 LIPLIF 光栅尺为刻在钢标尺带上的相位光栅(LIP)或刻在玻璃标尺上的相位光栅(LIP 和 LIF)。

LIDA 类型的光栅尺是在钢标尺带上刻蚀反射率较高的金条纹,称做AURODUR光栅。

LIM 为磁栅尺,采用磁扫描原理。


PP 为刻在玻璃上的两维相位光栅,采用光衍射扫描原理,与 LIP 和 LIF光栅尺的扫描原理类似。这种结构的光栅可以在平面内测量

 


选择指南: 敞开式光栅尺

测量步距 型号
带相位光栅 1 μm 到 0.001 μm LIP
钢标尺带 1 μm 到 0.1 μm LIDA
玻璃标尺带 1 μm 到 0.1 μm LIF
磁扫描 到 0.01 mm LIM
两维光栅 到 0.01 μm PP

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