议题规划:
国家标准解读
国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》;
高级别半导体洁净室设计及生产车间建设规范与标准解读;
相关受控环境标准解读。
行业发展趋势解读
半导体材料应用技术及发展前景;
半导体设备应用技术及发展前景;
洁净技术发展趋势及应用需求。
技术发展与创新
空气中的尘埃粒子的检测/控制/及整体解决方案;
半导体/集成电路生产中防静电及除静电;
微电子洁净厂房的送风模式;
FFU在芯片制造环境与工艺良品率中的作用;
HVAC:温湿度控制;模糊控制在半导体厂洁净室温湿度控制中的应用;
工程设计与施工过程管理;
基于需求的洁净室人工智能管控节能;
数字化建设:智能控制系统;
洁净室建设解决方案:垂直领域痛点解决方案;
垂直领域的解决方案
控制表面污染-提高成品率;
半导体硅材料厂工艺设计中的污染控制技术;
半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析;
半导体洁净室AMC(气态分子污染物)控制方案;
化学过滤器在半导体洁净室新风净化中的应用;
高效PTFE复合滤材/过滤器生命周期的性能优化;
微生物污染控制/微生物污染源分析及解决方案。
碳中和与绿色发展
洁净厂房建设的节能环保;
过滤、分离;空气、废水、纯净水;
应对气候变化:洁净室的能源效率;
洁净区的消防与主动安全
“引进来”与“走出去”
“引进来”政策解读
“走出去”政策及实例解读
往期回顾
*部分往届论坛现场图片
统筹 | 刘昊宇
审校 | 贺雅宁
编排丨仲凤元
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(PME表面精密加工博览会)
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