“半导体设备关键零部件的表面质量提升挑战的分论坛”成功召开

2024年9月4日，由上海市集成电路行业协会与汇捷通展览（上海）有限公司联合主办的“精益求精·提效赋能”第三届表面精密加工技术及应用高峰论坛的分论坛——“半导体设备关键零部件的表面质量提升挑战”，在上海新国际博览中心N4馆（M45会议室）顺利举行！

本次论坛重点关注精密磨削、去毛刺/打磨/抛光、精密清洗以及精密表面处理技术的最新进展及其实际应用，旨在推广零部件表面精密加工技术整体解决方案，协助终端用户克服技术挑战，进一步提高产品质量与生产效率。

精彩回顾

本次论坛荣幸邀请到上海市集成电路行业协会秘书长、中国半导体行业协会副理事长——郭奕武致开幕辞。郭先生在致辞中表示，以精密磨削、研磨、抛光、清洗、真空镀膜等为主的表面精密加工技术在半导体设备关键零部件制造中起着至关重要的作用，相信本次活动能为行业搭建共同交流、深入探讨的平台。此次活动由汇捷通展览（上海）有限公司的市场主管——孟玉兰女士担任主持人，确保了会议流程的顺畅与高效。

▪郭奕武—开幕致辞

上海市集成电路行业协会 秘书长

▪孟玉兰—主持人

汇捷通展览（上海）有限公司 市场主管

论坛特邀9位来自企业和国家重点实验室的代表，围绕半导体设备关键零部件表面质量控制的焦点、热点及难点问题进行主题演讲，并深入讨论了成功案例和技术交流等议题。演讲内容覆盖了半导体领域的多项核心技术，包括超高纯洁净不锈钢管路的电解化学抛光技术、VCR接头与阀门等零部件的电解抛光技术、零部件清洗技术及其数字化管理，以及涂层镀膜技术解决方案等。

通过多角度的分析与分享，在轻松愉悦的氛围中与业内同行展开了专业交流，并针对具体问题提出了技术解决方案与建议，为参会者提供了具有实用价值的信息，以推动半导体技术的进步与创新，加快中国在半导体领域的技术突破。

嘉宾阵容

▪刘枫—演讲嘉宾

富创精密设备股份有限公司 副总裁

“半导体关键零部件表面特性对芯片制程工艺的影响”

▪刘新—演讲嘉宾

斯达拉格机床（上海）有限公司 总经理

“半导体关键零部件的精密加工解决方案”

▪赵仁洁—演讲嘉宾

上海微电子装备(集团)股份有限公司 先进制造中心主任

“半导体装备洁净零部件设计、制造与应用”

▪徐菖松—演讲嘉宾

盛美半导体设备（上海）有限公司 供应商质量管理经理

“半导体设备零部件清洗技术”

▪张晶晶—演讲嘉宾

北京洁创环保科技有限公司 销售经理

“半导体清洗中的数字化管控”

▪张广安—演讲嘉宾

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 研究员

“真空气相沉积碳基薄膜的结构与功能化设计”

▪Jaakko Sormunen—演讲嘉宾

青岛四方思锐智能技术有限公司 欧洲销售总监

“ALD为半导体核心零部件镀膜提供的优势和应用”

▪王琪—演讲嘉宾

上海脉诺金属表面处理技术有限公司 总经理

“半导体关键设备制造对超高洁净管材表面质量控制技术探讨”

▪孙景志—演讲嘉宾

禧求普半导体科技有限公司 教授

“不锈钢等金属表面化学抛光除毛刺新技术”

上海市集成电路行业协会

成立于2001年4月，为上海市集成电路行业同业企业以及其他相关经济组织自愿组成的非营利的行业性社会团体法人，现有会员单位700多家，其中集成电路产业链企业占会员的90%以上。协会作为政府部门和企业间的桥梁，协会努力做好政府的决策助手、行业发展的推手、企业的成长帮手。欢迎集成电路相关企业积极参与到协会的工作中来，共同为行业的发展贡献力量。

审校 | 刘昊宇

编排丨仲凤元

©PME CHINA

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（表面精密加工技术联盟）

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