3D表面轮廓仪在测量动态MEMS设备的应用

测量动态MEMS设备

光学轮廓测量仪是确定MEMS设备表面特征的一种非常有用的工具。传统意义上，光学轮廓仪被用来测量样品的表面特性。但是，在测量过程中，所测量的样品需保持在静止的状态下，如果样品不稳定或者处于运动状态则会引起图像混乱模糊、数据不完整或者数据丢失等现象。然而，对于MEMS设备，需要确定该设备处于运动状态时的形貌特征，了解和确定其在运动状态下的功能和特征对研发和生产质量控制至关重要，作为质量检验，只有动态测量才可以真正模拟MEMS实际运行状态，从而达到正真的功能检测。

先进的3D光学轮廓仪能够实现这一测量功能，运用NewView™7300和新的动态测量模块DMM可以形成一个动态测量体系：一个频闪的LED光源同步于MEMS设备的触发信号，通过调整光源的频闪频率，其MEMS设备的运动被有效“静止”。实现光学轮廓仪在动态设备上进行测量。

无论是生产制造过程中的质量控制，还是实验室的研究，ZYGO装有DMM模块的NewView™7300系统对检查静态和动态MEMS提供了不可或缺的测量设备和全面的解决办法。其最佳的测量范围和测量速度，已成为动态MEMS测量的理想解决方案。

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