用步距规提高激光干涉仪检测精度

　　近年来，广西量具量仪产业技术创新战略联盟成员单位及其他有关单位不断发现激光干涉仪量值不准确。而这一问题一直没有得到解决。

　　近日，桂林安一量具有限公司董事长吴峰山向记者表示，单独使用激光干涉仪在许多现场环境下往往不够准确。在使用激光干涉仪前，先用步距规校对一下激光干涉仪，然后再用校对过的激光干涉仪对数控机床进行测量和修正，将会大大提高数控机床定位精度。 

　　相关专家认为，在严格的国家级实验室条件下，激光干涉仪的准确性是无需怀疑的。但在现场环境中，由于温度、湿度、气压及二氧化碳含量均不稳定，气流扰动、振动等外界影响因素也不可完全避免，这时使用激光干涉仪对数控机床进行检测，其测量结果的不确定度往往会很大。即使检测同一台机床，上午和下午的检测结果也显著不同。对此，很少有人注意或探讨其原因出在哪里。

　　全国计量行业知名专家黄晓蓉分析，温度传感器贴附位置不当、激光干涉仪附带的温度传感器不够精确、对被测对象的热膨胀系数估计不准、有气流扰动等干扰等因素都会影响激光干涉仪测量结果的准确性。

　　她表示，数控机床尤其是高档数控机床定位精度的检测属于精密测量，认真研究其所用检测器具及检测环境条件的影响十分重要。欲准确使用激光干涉仪，必须在使用时先对激光干涉仪进行校准。因此，现场环境下激光干涉仪不宜单独使用，建议与经校准过的步距规比对使用。

　　吴峰山介绍，步距规是国际公认的实物长度标准器，在检测三坐标测量机方面，是国际标准和国家标准大力推荐的检测量具。其准确性、实用性和经济性早已得到国际公认。重大科技专项——高档数控机床离不开高档步距规。因此，也有不少企业专门使用步距规检测数控机床定位精度。

　　上海特略精密数控机床有限公司，三年来专用安一高精度步距规检测本公司生产的精密数控机床，其机床定位精度高达±3μm/400mm，远高于同行的数控机床精度水平，实现了数控机床高档、高价、高销量，成为同行业的佼佼者，是成功应用步距规检测数控机床的典型案例。

　　目前，桂林安一量具有限公司已能生产具有世界级水平的高精度步距规。有3台规格1000mm的高精度步距规，先后经中国计量科学研究院和德国检测中心DKD-K-44301校准，这3台步距规均已达到世界级高精度步距规标准。

　　目前数控机床的有关标准还未将步距规列为推荐检测量具。对此，相关专家表示，现在的机床国家标准已与国际标准接轨，均为推荐标准，并不属于强制执行的国家标准。也就是说没有禁止使用其他的检测手段如步距规、量块等传统检测量具。关键是保证测量结果的准确性。

　　吴峰山呼吁，在修订数控机床有关技术标准时，应将步距规列为测量实物长度标准器。并希望组织相关机构对激光干涉仪现场测量长度进行量值比对。

　　据了解，法定计量文件JJF1064-2004《坐标测量机校准规范》和国家标准GB/T16857.2-2006《坐标测量机的验收检测和复检检测》及新版国际标准ISO10360-2:2009《坐标测量机的验收检测和复检检测》都推荐步距规作为实物长度标准器，用于检测坐标测量机。

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