海德汉编码器的核心部分是测量基准,通常是栅距为0.25µm到10µm的刻线。这些精确的刻线是由海德汉先进的工艺制作出来的(比如DIADUR或AURODUR工艺),它们是影响海德汉编码器精度的决定性因素。这些刻线存在于规定的细小间隔里,它们的边缘清晰度很高。而且刻线抵抗机械和化学影响的能力强,抗震动和冲击的能力也很强。有固定的热膨胀性能。
相位光栅 |
特殊的制造工艺可以生产出有特定光学特性的三维栅格。这些栅格的宽度在几个微米到四分之一微米之间。 |
SUPRADUR |
SUPRADUR工艺制造出来的栅格很像三维光栅,但它们只有平面结构,所以抗污染能力很强。 |
MAGNODUR |
只有几个微米的非常薄的磁性层上有很精细的磁栅。 |
DIADUR |
DIADUR精确刻线由基体上非常薄的铬层构成,通常基体为玻璃或玻璃陶瓷。刻线的精度在微米和亚微米的氛围内。 |
AURODUR |
AURODUR刻线是由高反射率的被腐蚀的金线构成。AURODUR刻线的基体通常是钢。 |
METALLUR |
由于反射黄金层的特殊光学合成物, METALLUR刻线显示为实际成面构造。因此它们特别抗污染。 |
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