|
高精度合式测量系统
·U2（XY平面）=（2.0+L/250）μm
·分辨率 0.1μm
·两个不同倍率光学系统
·具有专利权的可编程环光(PRL)
·Windows 2000操作系统
·自定义客户界面
·独有的边缘寻边的算法程序
| Benchmark 仪器参数指标 |
| 测量范围 |
300×150×150 MM |
| 分辨率 |
0.1μm(0.000004") |
| 马达驱动系统 |
DC 伺服马达 |
| 速度 |
200 MM/sec |
| 载重 |
25kg |
| 物镜放大倍数 |
0.8x / 3.2x |
1x / 4x |
2.5x / 10x |
5x / 20x |
10x / 40x |
25x / 100x |
| 工作距离 |
84 MM |
34 MM |
32 MM |
33 MM |
20 MM |
13 MM |
| 视野（ MM） |
低倍
7.36
x
5.74 |
高倍
1.84 x 1.43 |
低倍
6.13 x 4.78 |
高倍
1.53
x
1.2 |
低倍
2.45 x 1.91 |
高倍
0.61 x 0.48 |
低倍
1.23 x 0.96 |
高倍
0.31
x
0.24 |
低倍
0.61 x 0.48 |
高倍
0.15 x 0.12 |
低倍
0.25 x 0.19 |
高倍
0.06
x
0.05 |
| 分辨率 |
9.96 |
2.49 |
8.3 |
2.08 |
3.32 |
0.83 |
1.66 |
0.42 |
0.83 |
0.21 |
0.33 |
0.08 |
| 屏幕显示放大倍率 |
30x |
120x |
36x |
143x |
90x |
358x |
179x |
716x |
358x |
1431 |
895x |
3578 |
| 光源系统 |
标配：LED背光，多种颜色的同轴正光
选配：具有专利的可编程的环光 |
| 影像处理 |
用户可根据自己需要去除毛边，边缘寻边器，快速寻边器，自动聚焦，及可供选取配的具有专利栅格投影系统，区域寻中心功能，灯炮寿命测试。 |
|
软件 |
多种座标系统，智能化搜索和建立座标系统，功能强大编程功能，包括数学计算，变量名定义，循环分流等。多种不同CAD文本输入。数据可以直接输出去数据库，SPC程序。 |
| 图象处理传感器 |
高分辨率数字化B&WCCD照相机 765×576象素。 |
| 计算机 |
Intel奔腾4处理器Windows 2000操作系统 |
| 电源 |
自动转换100－240V 50/60HZ |
| 环境 |
17～33℃ 20～80%湿度 |
| 重量 |
155 ㎏ |
| 外观尺寸 |
720×775×873 MM |
| 工作站 |
标配：17″SVGA显示器，操作标，鼠标，键盘
选配：15″LCD显示器，操作杆，鼠标，键盘 |
| 精度 |
U2（XY平面）=（2.0+L/250）μm
U1（Z轴）=（1.5+L/50）μm
L：测量长度单位 MM |
|
|
声明：本网站所收集的部分公开资料来源于互联网，转载的目的在于传递更多信息及用于网络分享，并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责，也不构成任何其他建议。本站部分作品是由网友自主投稿和发布、编辑整理上传，对此类作品本站仅提供交流平台，不为其版权负责。如果您发现网站上所用视频、图片、文字如涉及作品版权问题，请第一时间告知，我们将根据您提供的证明材料确认版权并按国家标准支付稿酬或立即删除内容，以保证您的权益！联系电话：010-58612588 或 Email:editor@mmsonline.com.cn。
