“二自由度笛卡尔坐标高速高精度定位系统”研制完成

863计划先进制造与自动化领域支持的“面向MEMS加工的精密定位技术的研究”进展顺利,已经完成了二自由度笛卡尔坐标高速高精度定位系统研制工作。

本课题在研究过程中,发展了一种由直线音圈电机直接驱动的2自由度笛卡尔坐标型用于IC芯片封装的高速高精度定位装置。其结构特点采用直线音圈电机直接驱动X、Y工作台,省去了传动环节,而且音圈电机具有无滞后、高响应、高速度及高加速度、控制方便等特点,有效地提高了该定位装置的性能。通过采用无间隙新型解耦结构,不仅使机构具有传统XY工作台运动学解耦的特点,而且可将驱动部件置于底座上,降低了机构的运动惯量。采用直线光栅作为末端位置反馈,可以较好地保证系统的高速高精度。 本研究成果除用于面向MEMS微连接和组装装备的开发外,相关的单元技术在其它领域中,如IC封装、精密电子设备装配流水线、生物芯片制备、大范围高速扫描装置中均有广泛的应用前景。面向不同的应用领域,通过单元技术集成,可开发出不同的应用系统。

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