机种 |
Hyper MF |
Hyper MF-U |
镜筒 |
有限远补正光学系 |
无限远补正光学系 |
测量范围(mm) |
250(X轴)*150(Y轴)*150(Z轴) X,Y轴:(0.9+3L/1000) μmL=测量长 | |
测长单位 |
低膨胀玻璃光栅尺(线膨胀系数0.02*10-6/℃) | |
驱动方式 |
操纵杆操控电动驱动 | |
最小表示量 |
0.01μm | |
最大积载质量 |
30kg | |
透过照明 |
垂直照明12V50W光纤开口带光圈 | |
反射照明 |
反射照明12V100W光纤开口带光圈 | |
本体质量 |
250kg |
255kg |
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