日本MEMS国家项目相继推出

　　据日经BP社报道：日本相继推出了与MEMS（微电子机械系统，Micro Electro Mechanical Systems）相关的国家项目。预算总额达一百数十亿日元，将大大推动MEMS相关开发。
　　2007年夏季，作为日本文部科学省科学技术及学术政策局推进的“尖端融合领域革新创造基地的形成”计划的课题之一——“微系统融合研究开发”启动了产学合作项目。日本东北大学的江刺正喜研究小组与理光、丰田汽车等11家公司于2007年夏季共同启动了产学合作项目。目标是通过走在MEMS领域前沿的研究小组与拥有具体应用对象的企业合作，使各种MEMS技术尽快达到实用水平。该项目使用的是科学技术振兴调节资金。首年度预算为3亿日元。特点是拥有可低成本试制MEMS元件的体制。
　　日本经济产业省主导的项目包括2008年度开始的“BEANS（Bio Electro-mechanical Autonomous Nano Systems）项目”和“梦幻芯片开发项目”。BEANS计划在2008～2012的5年内以约100亿日元的预算实施。将把生物科技和纳米功能融入MEMS技术，推进旨在开拓新应用的研究。该项目由全权制定微机械和MEMS相关政策的日本制造产业局产业机械科负责。梦幻芯片开发项目旨在开发三维LSI，计划5年内有数十亿日元的预算（粗略估计为15亿日元/年）。由全权制定LSI和电子设备相关政策的日本商务信息政策局信息通信设备科负责。
　　综上所述，今后5年内日本将会有前所未有的巨额MEMS预算被执行。设备及材料厂商有望接到大量“特需”订单。 

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