应用分享 | Mahr 3D 共聚焦显微镜在微流控芯片技术中的应用

微流控芯片技术，是一种操控微尺度流体的技术，主要涉及亚微米级结构的运用 ，也被称为芯片实验室（Lab-on-a-Chip）。该技术将化学、生物以及药物分析流程中的样品制备、反应、分离、检测等一系列操作单元，整合在一块微米尺度的芯片上。凭借其微型化、集成化和自动化的优势，微流控芯片技术在药物制剂研发与生产、高通量药物筛选分析、生物传感器制造等生命科学研究领域得到了广泛应用，极大地推动了相关领域的技术革新与发展。  

作为全球表面计量领域的先行者，马尔在微流控芯片技术领域积累了丰富的经验，特别是在微通道几何尺寸、表面光洁度和微型传感器3D形貌分析等方面。源自德国制造的MarSurf CM explorer 3D光学解决方案，能够精准契合微流控芯片技术领域对精密形貌测量的严苛需求。  

马尔3D共聚焦显微镜 

– MarSurf CM explorer 100

• 基于共聚焦逐层扫描原理的非接触式测量技术  

• 2纳米的纵向分辨率   

• 80纳米的横向分辨率   

• 卓越的重复精度高达0.15纳米   

• 快速测量并实现大范围自动3D拼接   

• 超高动态性能，可同时测量金属，非金属和涂层表面   

• 全电动大行程CNC平台，操作简单方便可实现自动化批量检测

马尔3D共聚焦显微镜 

– 在微流控芯片中的测量参数

2D和3D 形貌几何分析

• 微观元器件检测  

• 注入口和微通道连接检测   

• 微通道宽度、深度、体积和面积等分析   

• 压力传感器直径、间距和空间等分析   

• 3D数模比对

粗糙度测量分析 - 表面光洁度会影响流体的流通

• 浸湿  

• 流量   

• 表面张力（液滴形状）

应用案例

微流控芯片中的微通道3D形貌

  可分析宽度、深度、角度和通道内粗糙度，平面度等参数

微流控芯片中的传感器3D形貌

可分析传感器曲率半径、PV、几何结构特征和3D数模比对等    

（Mahr马尔精密量仪）

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