在晶圆防污染方面，谁是真正的「专业清道夫」？

不日前，2023年Semicon China展会在一片热烈氛围中顺利收官。展会进行期间，Festo展位现场人潮络绎不绝，众多「费家明星」以其在半导体制造中的能力展现吸引了无数观众目光。其中，主打晶圆防护的「专业清道夫」N2 Purge氮气吹扫系统备受关注。

困扰半导体制造商们防污染问题如何解决？

提高晶圆良品率的关键就是它？

有没有可能，高效的解决方案只需简单的获取方式？

 制造秘诀 一键揭晓  

在半导体制造过程中，运输和储存过程是防护关键点。氧气、湿气和气态分子污染物隐藏在各处，随时等着对晶圆产生结构性破坏。

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既能了解智造秘诀还能学外语

    成本    

Festo提供预组装的功能单元，不仅减少了使用者在配件方面的额外费用，还能降低装配、管路和测试方面的成本。

  安全性  

整套系统解决方案仅有两个气动接口，得以减少气体泄漏方面的风险。

    精度    

Festo比例流量控制器中含有带比例方向的控制阀和压电阀，可针对于不同流量场合实现可靠的精确控制。

系统的闭合控制回路确保了流量的准确和稳定以及无迟滞的线性行为。基于伯努利效应的流量测量技术，使得流量能在上游压力瞬变时仍具有卓越稳定性。

 使用寿命  

压电比例阀在工作时不发热、无磁场、基本不产生噪音。其设计能在整个使用期有效规避因颗粒磨损引起的气流污染问题，从而预防由摩擦造成的磨损，大幅延长阀门的使用寿命。

    能耗    

采用压电技术的比例流量控制阀仅在启动状态下需要电流，待机状态下无需通电。与电流阀相比，压电比例阀的能耗最多能减少95%。

    体积    

整套系统解决方案的部件小巧、体积紧凑、构造轻便，特别适用于对操作设备有严格限制的空间有限的生产区。

功能丰富度

吹扫和真空功能集成在一个系统中，以丰富其功能性价值；流量控制器更能集成到高架运输系统中，实现灵活化应用。

9月6日-8日

Festo期待与更多半导体行业伙伴一起

再会于台湾SEMICON展会现场

（费斯托中国）

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