中图仪器：『SuperView W1光学3D表面轮廓仪拼出“天衣无缝”的3D全景』

“见一叶而知深秋，窥一斑而见全豹” 这句话用来形容中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，在超精密加工显微测量场景中发挥的作用恰如其分。

大多数的场景中，只需检测一个数十、数百微米的区域，即可取得“见微知著”的效果，但在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中，借助中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪的自动拼接功能，就能够快速实现大区域、高精度的测量。

场景一

超光滑的弧形表面

上图是一款旋转抛物面零件，用于微小位移和角度检测，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，针对其凹面弧形的检测需求，现有的显微测量仪器中，原子力显微镜和共聚焦显微镜，均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除，只有以白光干涉为原理的光学3D表面轮廓仪，能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。

针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，很好重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。

场景二

粗糙的特征表面

上图是涂覆在电极棒的催化剂表面全景图，整体尺寸在7mm左右，中心的催化剂区域呈低反射率特点，而圆环外呈高反射率特点，整体的轮廓尺寸和微观的轮廓起伏反映了涂覆的质量。

根据客户精度要求，可将重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法，并可依据表面粗糙程度，选择不同步距进行速度调节。

场景三

粗糙的有孔洞特征平面

上图为手机插卡槽处的金属薄片模块，需要测量不含凹面区域的表面轮廓和平整度，因其表面较为粗糙且指定了测量区域，可使用高速FVSI算法，并在拼接测量设定时，使用地图导航功能，在扫描时即可自动跳过凹面区域完成其余整体形貌的拼接测量。

自动拼接功能的使用，并不局限在上述三种案例当中，光滑或是粗糙、平面或是异形结构，当必须测量超出适配镜头下的单视场区域时，都可以采用自动拼接，而中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，可根据不同表面特点进行重建算法的切换，无论何种形貌，都可生成“天衣无缝”的3D全景

（刘见桥 中图仪器）

声明：本网站所收集的部分公开资料来源于互联网，转载的目的在于传递更多信息及用于网络分享，并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责，也不构成任何其他建议。本站部分作品是由网友自主投稿和发布、编辑整理上传，对此类作品本站仅提供交流平台，不为其版权负责。如果您发现网站上所用视频、图片、文字如涉及作品版权问题，请第一时间告知，我们将根据您提供的证明材料确认版权并按国家标准支付稿酬或立即删除内容，以保证您的权益！联系电话：010-58612588 或 Email:editor@mmsonline.com.cn。