中图仪器光学3D表面轮廓仪带你探索超精密加工后的微观世界

禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至很大程度明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。

SuperView W1光学3D表面轮廓仪

一重境：看山是山，看水是水

我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。

二重境：看山不是山，看水不是水

既然肉眼不可辨，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。

三重境：看山仍是山，看水仍是水

为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。

点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。

单个凸点截面直径约42µm、高3.8um、夹角160°，分布周期97µm；单个弧形波高约1.6µm、宽约35µm，周期35µm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了多方面而精准的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。

超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的卓越水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，以白光干涉为原理研制而成的SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领

（刘见桥 中图仪器）

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