Manz亚智科技推出Track Line解决方案

2017年4月25日，中国苏州——作为市场领先的湿制程领导设备商，Manz亚智科技凭借30多年的丰富经验及超过3,000台的设备销售实绩，为显示器及触控面板产业提供生产制程全方位解决方案。为突破目前国内显示器生产制程中的曝光机及Track Line等关键设备几乎被国外厂商所垄断的局面，Manz亚智科技宣布与上海微电子装备(集团)股份有限公司（以下简称上海微电子）签署战略合作协议。根据合作协议，未来上海微电子在国内提供黄光微影制程解决方案，将结合其曝光机与Manz Track Line解决方案，携手拓展国内显示器面板 Array 段的黄光微影制程生产设备市场。

近年来，国内平板显示产业在国家政策的持续支持下，已实现了技术和产业规模的多种突破，快速掘起成为世界平板显示产业的重要一环。在TFT设备生产和研发方面，虽然国内投入巨资开工建设了多条高世代面板线，然而固定投资资金约60％左右都花在了设备购买上，而主要制程设备则从日韩等国家进口，国产设备研发之路依旧任重道远。

Manz亚智科技与国内著名的半导体设备制造公司-上海微电子签署战略合作协议，正是共同创新、实现技术突破并积极响应国家号召“以创新引领实体经济转型升级”的具体体现。双方将就显示器面板 Array 段的黄光微影制程生产设备结成长期战略合作关系，旨在打破国内市场上关键设备需依靠进口的局面。未来，上海微电子的曝光机将结合Manz Track Line解决方案，携手拓展国内显示器面板 Array 段的黄光微影制程生产设备市场份额。目前，Manz G4.5 Track Line 相关设备已装机于上海微电子研发厂内，包括清洗设备、涂布设备、显影设备及自动化软硬件设备，将提供客户做样品测试及验证。

上海微电子作为国内著名的半导体设备制造商，主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，其设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。其研发生产之曝光机为ARRAY段黄光微影制程的关键设备, 分辨率高达2um以下，并已通过客户的生产验证。 该曝光机仍不断进行技术精进与研发，目前已达成1.5um分辨率技术研发。

Manz Track Line 解决方案之关键设备精密涂布设备，拥有出色的膜厚均一性≤3%。
光阻涂布在黄光微影制程中亦是影响 Array 段制程的关键之一，光阻涂布的均匀性及用量，都关系着面板良率及生产成本。Manz亚智科技自主研发的精密涂布设备采取了狭缝式涂布，能针对不同的流体进行涂刀内部流道分析及设计，并采用直接驱动的自有注射泵及供液系统，有效控制光阻的膜厚均匀度≤3%。

图一：Manz Track Line解决方案之关键设备，精密涂佈机，拥有出色的膜厚均一性≤3%

上海微电子将曝光机台、Track Line、长短寸及膜厚量测机台整合在一起，并进一步连接各设备之间的软硬件，优化各机台的运行参数，结合定制化光阻，为客户提供完整的、高分辨率、高效率黄光微影制程解决方案。

通过此次Manz亚智科技与上海微电子的战略合作，不仅能够实现设备生产的国产化，从研发、材料、生产到服务全部本地化，更将打破目前国内关键设备生产被外商所垄断的局面。此举将能快速响应面板制造商日新月异的需求，提供定制化的服务，还可以有效地降低设备购置成本及运送成本，未来更好的进一步服务本地客户。此次合作，也意味着Manz亚智科技未来将把技术研发的触角伸进半导体领域。

Manz亚智科技暨显示器事业部总经理林峻生表示：“身为湿制程领导设备商，Manz 亚智科技30多年来不断致力于技术突破和创新。由湿制程技术跨足到以精密涂布为关键的Track Line解决方案，核心技术的整合与扩充应用是我们主要的发展方向。通过与上海微电子的战略合作对我们而言无疑是一大助力，将结合双方资源，掌握显示器面板黄光微影生产制程的关键技术与设备，共同打破关键制程设备需仰赖进口的瓶颈，使设备国产化、更贴近市场，从而以本地化的服务及生产成本，更好地服务本地客户。这项战略合作是一个良好的开端，未来在半导体产业也将会有更进一步的合作。”

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