激光干涉仪的得力小帮手——环境补偿单元

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说了那么久激光干涉仪，不知道读者们有没有注意到一个小东西，激光干涉仪的配套设备里面始终有一个身影经常出现，那就是“环境补偿单元”，在以往演示激光干涉仪时，大部分都是围绕激光头和镜组的架设进行介绍，而“环境补偿单元”这个小物件就被一带而过。所以有些读者心里会有疑问：激光干涉仪不是直接测量被检机床等设备的相关精度参数的吗？还要这个环境补偿器干嘛呢？

小编告诉您：激光干涉仪发射出的激光波长是系统测量精度的依据，但激光波长会受到其所通过的空气介质的折射率影响，影响空气折射率的因素又包括空气压力、温度及湿度，尽管这种影响比较小，但如果在进行高精度测量时，是有需要对空气折射等环境影响因素进行补偿的。虽然环境补偿单元只有一个数据生成器，外加一个空气温度探头和三个材料温度探头，如此小巧的东西却能为测量线性的精度更上一层楼，是不是觉得很奇妙呢？

以下是环境补偿器对空气温度、材料温度、空气湿度以及大气压力的补偿参数：

空气温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)

材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)

空气湿度传感器：±6% RH (0-95)%RH

大气压力传感器：±100Pa

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