中图仪器探究螺纹综合测量机性能卓越的秘密(一)|高精度气浮系统

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螺纹综合测量机采用接触式扫描原理，螺纹中径的测量不确定度要达到（2.5+L/200）um，一台结构比较复杂的精密测量仪器，是如何达到这一测量精度的呢？其重要技术之一，就是通过T型高精密气浮轴承系统驱动测针与被测螺纹进行接触扫描（T型气浮导轨运动平台包含垂直轴Z和水平轴X气浮导轨系统），这是实现螺纹轴向轮廓精准扫描的基础。

气浮导轨实物

螺纹综合测量机采用无磨损、超低摩擦力的高精度T型气浮导轨系统，保证系统稳定、可靠地工作。创新设计的气浮轴承正负压控制系统，自主研发的超精密花岗岩导轨加工、气浮轴承加工工艺，为气浮轴承系统提供非常高的气膜刚性，导轨无磨损、超低摩擦力，实现了测量系统的重复定位精度高、使用寿命长、稳定性好等特点。

正交的（X轴和Z轴）气浮系统示意图

高精度气浮系统可达到如下测量精度：

- 行走线性精度1um；

- 重复定位精度0.3um；

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