BECKHOFF主控IPC及过程控制IOs等整套设备应用于国产首台大型MOCVD-ProMaxy外延设备

作为LED芯片生产过程中的关键设备-MOCVD，其核心技术长期被欧美企业垄断，中晟光电设备(上海)有限公司凝心聚力，攻坚克难，顺利实现了大型MOCVD外延设备研发，生产国产化，并于2012年12月12日向客户成功发运国产首台大型MOCVD-ProMaxy外延设备，充分体现了中国企业在高端装备领域的生产能力和创新水平，为实现大型MOCVD设备国产化，迈出了具有里程碑的关键一步。

中晟光电设备(上海)有限公司坐落于上海浦东张江高科技园区，是由一批国内外业界精英，技术专家和管理团队组成的高端研发，生产，销售及服务的高科技绿色新能源企业。公司旨在建立以中国为基地，实现LED关键设备生产及技术和工艺国产化，倾力打造具有世界领先地位的新型装备制造企业。中晟公司仅用了10个月的时间，就完成了大型MOCVD高端装备技术工艺的开发和整套设备的优化生产，并于2012年12月12向客户发运首台中国具有世界先进水平的大型国产MOCVD-ProMaxy外延设备，受到业界高度赞扬。

四项核心竞争力

中晟公司MOCVD-ProMaxy外延设备各项性能均达到或超过标准指标，其中蓝光片波长均匀性<1.5nm，炉内片间均匀性<2.5nm，炉间波长重复均匀性<2nm;非掺氮化镓的迁移率607cm2/Vs，均达到国际领先水平。该设备的高产能(单腔产能2英寸66片，系统产能可达264片)，高良品率(至少可提高10%)，完整可靠的外延生产性能及较低的外延成产成本，使其具有较强的市场竞争力，尤其重要的是该大型高端装备的核心技术和自主知识产权均为国内首创。

与BECKHOFF协同合作追求更高目标

中晟公司孙总提到项目初期选择与BECKHOFF合作的原因时说到:”BECKHOFF全线控制产品从控制器IPC到驱动器电机，到EtherCAT总线端子模块和安全模块，不仅技术指标能保证系统在逻辑控制，过程控制，安全控制及运动控制中稳定的功能，它的兼容性及安全性和价格，及BECKHOFF上海技术工程师技术能力的优势，都让他们更倾向于使用BECKHOFF的控制系统”。

于MOCVD的工艺对流量和温度控制精准，组分变换迅速及系统紧凑都有很高的要求，ProMaxy系统选用BECKHOFF C5102系列抽屉式工控机，通过EtherCAT总线通讯方式实现每个腔300多个分布式数字量和模拟量信号的高速采集和实时控制。以温度控制为例：应用中的EL3164和EL4104-EtherACT模拟量端子模块 – 其16位控制精度和测量区域内误差小于0.3%的特点，在生产中ProMaxy主加热区的温度误差保证在0.5摄氏度左右，实现加热区区间均匀性在1摄氏度范围。系统中集成的BECKHOFF的SafetyOverEtherCAT安全逻辑单元EL6900和安全输入/出模块EL1904和EL2904(均为SIL3标准)，更实现了近120个分布式安全信号点，200多个安全逻辑的控制，保证系统高速运行的同时，各个复杂加工环节的安全性。在运动控制方面，选用BECKHOFF的EtherCAT伺服驱动器AX5203，实现双轴同步精度0.01。

最后彭总补充道：“BECKHOFF的产品在比较其他控制系统设备提供商，除了功能和精度上满足要求外，更让他们满意的还是BECKHOFF有更好的全方位的客户支持和完整的解决方案，给我们留下了很好的印象。”现在BECKHOFF中国拥有销售和技术支持/售后/应用工程师超过100名，立志尽可能满足各地区客户产品咨询，技术支持和售后及产品应用要求，追求能更高效并及时的对客户问题进行反映和处理。

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