微纳器件与系统影响我国制造业发展

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　　微纳器件与系统是利用微纳和精密加工技术，集约电子、机械、材料、控制等新技术发展，针对物联网、生物、医疗、汽车、机械制造等产业的需求，研制能够解决传感、测量、驱动、能源等问题的器件、部件和系统。目标是以批量制造技术生产低成本、高精度、高可靠性的微纳器件，拓展终端产品功能，提高终端产品性能，降低终端产品功耗和成本。

　　微纳器件与系统的主要特征：①微型化。器件特征结构尺寸范围0.1μm～1mm。②集成化。集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体。③高性能。体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短、性能稳定。④批量化。有利于大批量生产，降低生产成本。

　　从20世纪80年代以来，以美国、日本、西欧为代表的发达国家特别注重发展MEMS技术。我国微纳器件和系统的发展起源于20世纪90年代，从“九五”起，经过三个五年计划的支持，已经在制造平台建设和工艺研究、以惯性器件为主的器件研究、便携式仪器研究、微流体器件和系统及以微纳卫星为代表的集成微系统等方面取得了一系列突破。目前在整体技术水平上与国外尚有明显差距，但在个别领域，已经达到国际先进甚至领先水平。

　　未来20年，微纳器件和系统将取得突破性的进展，朝着微纳结合、集成化、仪器化、智能化的方向迅速发展。NEMS器件占微纳传感器件的份额将提高到50%以上；黑硅材料成为光伏器件的主流，转换效率达到50%以上；将有望用MEMS技术解决复明、复聪等问题。

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