名 称: | MGH686 |
型 号: | 686 |
测量范围(mm)X: | 600 |
测量范围(mm)Y: | 800 |
测量范围(mm)Z: | 600 |
探测系统: | PH10T+TP20 静态温度补偿系统 |
分辨率: | 0.1μm |
示值误差(μm): | 1.5+L/350 |
探测误差(μm): | 1.8 |
MGH系列测量机采用封闭框架结构设计,是高精度精密型测量机的专用结构。由固定桥和工作台移动组成,其牢固的机械结构确保了系统具备最大的刚性、最佳的稳定性和最小的振动,保证了整个测量空间极高的测量精度。三轴在机械上相互独立,运动互不干扰,从而确保了系统的高稳定性。 Y轴运动采用中央驱动,避免了Y向运动中的偏摆,提高了Y轴的运动精度 Y轴导轨采用燕尾槽定位方式,以保证运动时的最大刚性及精度。 三轴导轨均采用优质花岗岩,使三轴具有相同的温度特性,因而具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力,钢性好、动态几何误差变形最小。三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承,运动更平稳。光栅的布置接近被测工件,遵循了阿贝误差原理,减小了系统误差。驱动系统采用进口高性能直流伺服电机、进口摩擦杆传动装置,确保传动更快捷、更精准、运动性能更佳。 Z轴采用气缸平衡装置,极大的提高了Z轴的定位精度及稳定性。 |
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