HIPAC--先进溅射技术

    先进溅射技术
                     HIPAC 

    用于先进涂层的高离子化等离子技术

Metaplas 独自开发的

高功率脉冲溅射技术

■ 高脉冲靶材功率介于0.5 - 2MW
■ 溅射材料离化率达到 90%!

HIPAC技术优势:

■ 非常高的等离子密度
■ 致密光滑的涂层
■ 高靶材利用率
■ 非常低的基体温度
■复杂形状基体上涂层厚度均匀
■ 高纵横比的管内或沟槽区域涂层
■ 可对涂层结构组分及特性进行设计

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