| 产品描述： Inspcetor激光检测系统能够根据客户的不同要求选配不同的测头。
1.Conoprobe测头
非接触式点激光测头
3000点/秒 测量速度
可更换透镜
微米级精度
应用领域
在线检测 汽车工业
航空航天 医药行业
塑料制品 金属模具
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Conoprobe Mark 3.0 技术参数 |
|
透镜部件类型（焦距：mm） |
标准型 |
高清晰型 |
|
16 |
25 |
40 |
50 |
50延长型 |
75 |
100 |
125延长型 |
150 |
200 |
25 |
40 |
50 |
|
Z轴（垂直方向） |
|
|
静态分辨率（μm） |
＜0.1 |
0.25 |
0.35 |
0.75 |
＜0.1 |
|
精度（μm） |
＜2 |
＜3 |
＜4 |
＜6 |
＜6 |
＜10 |
＜15 |
＜20 |
＜35 |
＜70 |
＜1 |
＜2.0 |
＜2.5 |
|
重复定位精度1σ（μm） |
＜0.15 |
＜0.4 |
＜0.7 |
＜1 |
＜1 |
＜2 |
＜4 |
＜8 |
＜15 |
＜15 |
＜0.2 |
＜0.4 |
＜0.5 |
|
扫描景深 （mm） |
0.6 |
1.8 |
4 |
8 |
8 |
18 |
35 |
45 |
70 |
125 |
0.6 |
1.4 |
2 |
|
工作间隔 （mm） |
12 |
15 |
40 |
42 |
85 |
65 |
90 |
240 |
140 |
185 |
14 |
37 |
40 |
|
横向轴 （X和Y） |
|
|
激光光斑尺寸（X轴）（μm） |
11 |
22 |
30 |
45 |
60 |
65 |
75 |
100 |
120 |
170 |
6 |
TBD |
15 |
|
横向分辨率（X轴）（μm） |
5 |
12 |
14 |
15 |
20 |
25 |
35 |
50 |
50 |
|
4 |
TBD |
10 |
|
重量 |
|
|
透镜（g） |
460 |
40 |
122 |
25 |
400 |
25 |
25 |
400 |
25 |
25 |
40 |
122 |
25 |
|
测头（g） |
700 |
|
数据处理 |
|
|
数据速率 点/秒 |
3000 |
|
接口 |
以太网 10/100UDP |
|
控制分离信号 |
ROG信号输出，输入TTL5V电平信号 |
|
应用 |
|
|
测量角度范围 |
170° |
|
环境温度 |
18 - 35℃ |
|
供电电压 |
12伏直流-0.5安培 |
|
透镜配置参数 (焦距:单位/毫米)* |
|
|
标准状态 |
高精度状态 |
|
Cono透镜焦距 |
16 |
25 |
40 |
50 |
50 |
75 |
100 |
125延长 |
150 |
200 |
250 |
16 |
25 |
40* |
50 |
|
延长 |
|
Z轴特征（竖直方向） |
|
|
静态步距 |
<0.1 |
0.1 |
0.3 |
0.4 |
0.8 |
1.5 |
<0.1 |
|
精度 (μm) |
<2 |
<3 |
<4 |
<6 |
<6 |
<10 |
<15 |
<20 |
<35 |
<70 |
<100 |
<0.5 |
<1 |
<2.0 |
<2.5 |
|
重复定位精度 (μm) |
<0.15 |
<0.4 |
<0.7 |
<1 |
<1 |
<2 |
<4 |
<8 |
<15 |
<15 |
<15 |
<0.1 |
<0.2 |
<0.4 |
<0.5 |
|
工作范围/扫描景深 (mm) |
0.6 |
1.8 |
4 |
8 |
8 |
18 |
35 |
45 |
70 |
125 |
180 |
0.2 |
0.6 |
1.4 |
2 |
|
工作间隔 (mm) |
12 |
15 |
40 |
42 |
85 |
65 |
90 |
240 |
140 |
185 |
240 |
11 |
14 |
37 |
40 |
|
激光光斑尺寸(μm) |
11 |
22 |
30 |
45 |
60 |
65 |
75 |
100 |
120 |
170 |
220 |
3.5 |
6 |
TBD |
15 |
|
透镜质量(g) |
460 |
40 |
122 |
25 |
400 |
25 |
25 |
400 |
25 |
25 |
25 |
460 |
40 |
122 |
25 |
|
扫描头质量(g) |
700 |
|
电气控制盒 质量(g) |
1200 |
|
扫描采样速度 |
850点/秒(pps) |
|
宏命令 |
宏命令自动提供相应性测量 |
|
输出数据 |
Excel, ASCII text file, BMP, JPEG, UBM, VRML |
|
应用 |
|
|
测量精度 |
与透镜准确度有关 |
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角度测量范围 |
0°～170° |
|
环境温度 |
18 ～35°C |
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连续撞击阻力值
245 m/s2-25g-6ms |
大于6000次撞击次数 六组不同方向 |
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供电电压 |
82-265伏特/交流 50-60赫兹 |
2. Nano测头
Nano测头是专门用于高亮、透明表面检测，玻璃、硅片、潮湿涂层或镜面的扫描，扫描精度已达到纳米级。
性能特点：
适用于玻璃，透明材质，或者镜面物体
超高精度 精度取决于选用的透镜，从微米到纳米不等，最高可达纳米
灵活的工作范围 16毫米到75毫米的透镜或者X20规格的显微透镜
机加工金属半扩散面的扫描包含附带的角度到45°，提升到1/3的透镜的工作范围
扫描频率3000赫兹，pro版本可以到达15000赫兹
应用范围
感光底层上的物体、透明的材料物体、潮湿表面、镜子或者类似于镜面表面、高度抛光表面例如抛光硅、透明镀膜、机加工金属的半扩散面
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Nanoconoprobe 技术参数 |
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配置 |
标准透镜 |
显微透镜 |
|
透镜焦距（mm） |
16 |
25 |
40 |
75 |
×20 |
|
工作景深（mm） |
0.25 |
1 |
2 |
10 |
0.065 |
|
精度（μm） |
0.25 |
1 |
2 |
10 |
0.065 |
|
分辨率（μm） |
0.025 |
0.1 |
0.2 |
1 |
0.006 |
|
工作间隔（mm） |
11 |
18 |
42 |
65 |
8-20 |
|
激光光斑尺寸（μm） |
3 |
5 |
10 |
25 |
1 |
|
可测角度（dag.) |
8 |
5 |
2 |
1 |
20 |
|
数据处理 |
|
|
最高工作频率（Hz） |
3000，Pro 15000 |
|
接口 |
|
|
通讯方式 |
以太网 10/100UDP |
|
控制信号 |
ROG信号输出，输入TTL5V电平信号 |
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综合数据 |
|
|
重量（g） |
700 |
|
外形尺寸（mm）（L×W×H） |
154×79×57 |
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供电电源 |
12伏直流-0.5安培 |
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光源 |
激光二极管 - 波长 655nm |
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激光等级 |
FDA Class II – IEC class 2 |
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