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斯科迪光电技术有限公司

Conoprobe测头

产品描述:

Inspcetor激光检测系统能够根据客户的不同要求选配不同的测头。

1.Conoprobe测头

非接触式点激光测头
3000点/秒 测量速度
可更换透镜
微米级精度

 

应用领域
在线检测 汽车工业
航空航天 医药行业
塑料制品 金属模具

Conoprobe Mark 3.0 技术参数

透镜部件类型(焦距:mm)

标准型

高清晰型

16

25

40

50

50延长型

75

100

125延长型

150

200

25

40

50

Z轴(垂直方向)

 

静态分辨率(μm)

<0.1

0.25

0.35

0.75

<0.1

精度(μm)

<2

<3

<4

<6

<6

<10

<15

<20

<35

<70

<1

<2.0

<2.5

重复定位精度1σ(μm)

<0.15

<0.4

<0.7

<1

<1

<2

<4

<8

<15

<15

<0.2

<0.4

<0.5

扫描景深 (mm)

0.6

1.8

4

8

8

18

35

45

70

125

0.6

1.4

2

工作间隔 (mm)

12

15

40

42

85

65

90

240

140

185

14

37

40

横向轴 (X和Y)

 

激光光斑尺寸(X轴)(μm)

11

22

30

45

60

65

75

100

120

170

6

TBD

15

横向分辨率(X轴)(μm)

5

12

14

15

20

25

35

50

50

 

4

TBD

10

重量

 

透镜(g)

460

40

122

25

400

25

25

400

25

25

40

122

25

测头(g)

700

数据处理

 

数据速率 点/秒

3000

接口

以太网 10/100UDP

控制分离信号

ROG信号输出,输入TTL5V电平信号

应用

 

测量角度范围

170°

环境温度

18 - 35℃

供电电压

12伏直流-0.5安培

透镜配置参数 (焦距:单位/毫米)*

 

标准状态

高精度状态

Cono透镜焦距

16

25

40

50

50

75

100

125延长

150

200

250

16

25

40*

50

延长

Z轴特征(竖直方向)

 

静态步距

<0.1

0.1

0.3

0.4

0.8

1.5

<0.1

精度 (μm)

<2

<3

<4

<6

<6

<10

<15

<20

<35

<70

<100

<0.5

<1

<2.0

<2.5

重复定位精度 (μm)

<0.15

<0.4

<0.7

<1

<1

<2

<4

<8

<15

<15

<15

<0.1

<0.2

<0.4

<0.5

工作范围/扫描景深 (mm)

0.6

1.8

4

8

8

18

35

45

70

125

180

0.2

0.6

1.4

2

工作间隔 (mm)

12

15

40

42

85

65

90

240

140

185

240

11

14

37

40

激光光斑尺寸(μm)

11

22

30

45

60

65

75

100

120

170

220

3.5

6

TBD

15

透镜质量(g)

460

40

122

25

400

25

25

400

25

25

25

460

40

122

25

扫描头质量(g)

700

电气控制盒 质量(g)

1200

扫描采样速度

850点/秒(pps)

宏命令

宏命令自动提供相应性测量

输出数据

Excel, ASCII text file, BMP, JPEG, UBM, VRML

应用

 

测量精度

与透镜准确度有关

角度测量范围

0°~170°

环境温度

18 ~35°C

连续撞击阻力值
245 m/s2-25g-6ms

大于6000次撞击次数 六组不同方向

供电电压

82-265伏特/交流 50-60赫兹

 

2. Nano测头

Nano测头是专门用于高亮、透明表面检测,玻璃、硅片、潮湿涂层或镜面的扫描,扫描精度已达到纳米级。

性能特点
适用于玻璃,透明材质,或者镜面物体
超高精度 精度取决于选用的透镜,从微米到纳米不等,最高可达纳米
灵活的工作范围 16毫米到75毫米的透镜或者X20规格的显微透镜
机加工金属半扩散面的扫描包含附带的角度到45°,提升到1/3的透镜的工作范围
扫描频率3000赫兹,pro版本可以到达15000赫兹

应用范围

感光底层上的物体、透明的材料物体、潮湿表面、镜子或者类似于镜面表面、高度抛光表面例如抛光硅、透明镀膜、机加工金属的半扩散面

Nanoconoprobe 技术参数

配置

标准透镜

显微透镜

透镜焦距(mm)

16

25

40

75

×20

工作景深(mm)

0.25

1

2

10

0.065

精度(μm)

0.25

1

2

10

0.065

分辨率(μm)

0.025

0.1

0.2

1

0.006

工作间隔(mm)

11

18

42

65

8-20

激光光斑尺寸(μm)

3

5

10

25

1

可测角度(dag.)

8

5

2

1

20

数据处理

 

最高工作频率(Hz)

3000,Pro 15000

接口

 

通讯方式

以太网 10/100UDP

控制信号

ROG信号输出,输入TTL5V电平信号

综合数据

 

重量(g)

700

外形尺寸(mm)(L×W×H)

154×79×57

供电电源

12伏直流-0.5安培

光源

激光二极管 - 波长 655nm

激光等级

FDA Class II – IEC class 2

 

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